气体质量流量控制器

概要

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）利用温差量热法原理，可对气体的质量流量进行精密测量和控制。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。 本产品采用*人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。 MFC出厂通常用氮气（N2）标定。 质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分)，SLM (标准升/分) 标准状态规定为：温度---27* K（0℃），气压—-101325 Pa（760mm Hg） F.S.（Full Scale）：满量程值

产品特点

本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用。

流量规格(N2标定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：满量程流量不限于此处列出的流量规格，可以在5SCCM～30SLM范围内任选，例如123SCCM。

输入输出信号

0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)